自然科学研究支援開発センター
機器共用・分析部門 機器共用・分析部
(東広島)機器分析J棟

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電子プローブマイクロアナライザー

日本電子製 JXA-8200型、JCMA-733II型
[J306室、J307室]

電子銃から放出された電子線をレンズを用いて1 μm 程度に細く絞り,試料に照射します。 試料表面から発生した特性X線の強度を測定することにより,試料の微小部位の構成元素を非破壊で調べることができます。 金属,岩石,セラミックス,半導体材料など広い分野の元素分析や微細組織の観察などに利用されます。

JXA-8200型

特徴
利用について
大学連携NW登録設備です

担当者

共同利用機器

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