自然科学研究支援開発センター
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(東広島)機器分析J棟

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カーボンコーター

メイワフォーシス製 CADE
[J103室]

カーボンの真空蒸着機です。蒸着源には,純度99.995%のカーボンファイバー繊維を使用しています。 高純度カーボン膜を,簡便かつ短時間で,再現性よく成膜できます。膜厚は約4~24 nmの範囲内で制御できます。 SEM-EDX測定の前処理等にご利用ください。

特徴

利用について

担当者

共同利用機器

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