エネルギー分散型X線分析装置 (EDX)
エダックス・ジャパン製 Genesis XM2
[J103室]
電子線照射により発生する元素固有の特性X線（蛍光Ｘ線）をエネルギー分散型検出で観測し， 固体表面の元素分析・組成分析をマイクロメータースケールで，迅速に測定します。測定可能な元素は，軽元素のベリリウムから重原子のウランになり， それら元素の定性・定量分析が行えます。 なお，本装置は既設のFE-SEMに付設され，点（0次元）・線（1次元）・面（2次元）での元素分析が可能です。
特徴
SEM本体
仕様
- 検出可能元素 Be(原子番号 4: ベリリウム) ~ U (原子番号92: ウラン) 定性 (スペクトル検索)・定量分析
- 検出器 Si半導体
- 検出素子有効面積 30mm2
- 分解能 136eV
- 元素マッピング
利用について
この機器は超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡装置(FE-SEM)の付属機器です。
担当者
- 技術センター 前田 誠 (E-mail: mmaeda
hiroshima-u.ac.jp)
担当者がホームページを公開しています：「電子顕微鏡のページ」
