超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡装置(FE-SEM)
日立ハイテクノロジーズ製 S-5200
[J103室]
収束した0.5～30kVの電子線をプローブとして試料表面を走査し、二次電子像を観察する顕微鏡です。 電子源に冷陰極電界放出型、対物レンズにインレンズ方式を用いたFE-SEMで、超高分解能でのナノ構造の表面観察が可能です。
詳しくはこちらもご覧ください：「電子顕微鏡のページ」
特徴
仕様
- 分解能：0.5 nm (加速電圧 30 kV Sample Height = 0.5mm)
1.8 nm (加速電圧 1 kV Sample Height = 1.5mm) - 倍率：高倍率モード ×800 ~ 2,000,000
低倍率モード ×60 ~ 10,000 - 検出器：二次電子検出器 (光電子倍増管)
- 観察機能：フォーカス、コントラスト、ブライトネス、非点収差、試料傾斜、いずれも自動・マニュアル操作可能
電子工学系
- 電子銃 冷陰極電界放出型電子銃
- 引出し電圧 0~6.5 kV
- 加速電圧 0.5~30 kV (100 Vステップ
- レンズ系 3段電磁レンズ縮小方式
試料微動装置
- 移動範囲 X: ±3.5 mm, Y: ±2 mm, Z: ±0.3 mm, T: ±40°
- 試料サイズ 5.0mm ×9.5 mm × 3.5 mm
- 試料交換 エアロック方式
排気系
- 方式 全自動ニューマチックバルブ方式
- 到達真空度 試料室(主配管部) 7×10-5 Pa, 電子銃室 1×10-7 Pa
- 真空ポンプ
電子工学系 イオンポンプ 3台
試料室 ターボポンプ 1台
ドライポンプ 1台
利用について
- 利用可能研究設備詳細
- 相互利用予約：簡易予約画面
- 依頼測定予約：まずは担当者に測定内容や測定日時についてご相談ください。
(その後、大学連携NWから「依頼測定予約」をお申し込み下さい) - データ保存：撮影画像はいったんHDに取り込まれます。各ユーザーがUSB等を使用する場合は必ずウィルスチェックを事前に済ませて下さい。
担当者
- 技術センター 前田 誠 (E-mail: mmaeda
hiroshima-u.ac.jp)
