精密イオンポリッシング装置
PIPS 691 形
[理学研究科 D106室]
透過型電子顕微鏡(TEM)の試料作製装置です。真空中でアルゴンイオンビームを試料表面に照射して、エッチングによる薄膜化を行います。付属のCCDカメラにより、薄膜化をリアルタイムでモニターすることが可能です。 また、液体窒素を用いて試料を冷却しながら、薄膜化することも可能です。
特徴
イオンソース
- イオンガン 小型希土類磁石付ペニングイオンガン二機
- ミリング角度 +10°～－10°
- イオンビームエネルギー 1.5KeV～6KeV
試料ステージ
- サンプルサイズ 3mmか2.3mm
- 回転 1～6 rpm
真空系
- ドライポンプシステム 2ステージのダイアフラムポンプと分子ドラッグポンプ
- 圧力 5×10-6Torr(ガンoff時), 8×10-5Torr(ガンon時)
- 真空ゲージ ペニングタイプ（メインチャンバー）
利用について
- この機器は大学連携NWには登録されていません。直接測定または依頼測定をご希望の方は、担当者へお問い合わせください。
- 供用開始時のお知らせ：[※学内限定]平成23年7月1日のお知らせ (53kB)
担当者
- 技術センター 前田 誠 (E-mail: mmaeda
hiroshima-u.ac.jp)
担当者がホームページを公開しています：「電子顕微鏡のページ」
